Northern Huachuang își extinde capacitatea internă pe un proces critic pentru noduri avansate, odată cu lansarea unui echipament de gravare cu fascicul de ioni de tip „gas cluster ion beam” (GCIB) pentru plachete de 12 inch (300 mm), Acme Glaion130, potrivit IT Home. Miza este una operațională: pe măsură ce industria împinge fabricația spre dimensiuni ale caracteristicilor la nivel „atomic”, crește presiunea pe precizie, calitatea suprafeței și controlul deteriorărilor, iar compania susține că noul utilaj adresează aceste cerințe.

În material se arată că, în nodurile avansate, metodele tradiționale precum lustruirea chimico-mecanică (CMP) și gravarea cu plasmă pot lăsa zgârieturi, pot produce deteriorări sub suprafață și au limite de precizie, ceea ce le face mai greu de folosit pentru nevoile „de bază” din logică avansată, memorii și siliciu fotonic. În acest context, gravarea cu fascicul de ioni este prezentată ca o tehnologie-cheie „post-Moore”, datorită preciziei la nivel atomic și a unui nivel de deteriorare apropiat de zero.

De ce diferă GCIB de gravarea cu plasmă

Publicația explică diferența de principiu dintre cele două abordări:

• Gravarea cu plasmă se bazează pe „reacție chimică + bombardament ionic” pentru îndepărtarea materialului.
• Gravarea cu fascicul de ioni accelerează ionii, îi neutralizează și îi direcționează către suprafața plachetei, îndepărtarea materialului făcându-se prin „sputtering” (pulverizare fizică).

Din această diferență, sursa derivă și diferențe de performanță: gravarea cu fascicul de ioni de tip „cluster” ar oferi precizie la nivel nanometric, direcționalitate mai bună și procesare cu deteriorare aproape nulă, fiind descrisă și ca aproape universal compatibilă cu materialele, cu flexibilitate mai mare (inclusiv „retuș” localizat pe plachetă și gravare la unghiuri arbitrare).

Ce spune compania că a rezolvat: trei blocaje tehnologice

Northern Huachuang afirmă că Acme Glaion130 a depășit trei dificultăți majore din industrie și că a obținut autonomie pe tehnologii-cheie:

1. Sursa de ioni de tip cluster de gaz: comparativ cu sursele convenționale cu ioni „monomer”, ar asigura viteză de gravare mai mare, calitate mai bună a suprafeței și deteriorare mai redusă; stabilitatea și calitatea fasciculului sunt descrise ca fiind la un nivel superior pentru echipamente similare.
2. Tehnologia electrozilor în regim de mișcare de mare viteză: pentru poziționare rapidă și precisă a plachetei, cu rezolvarea problemelor de stabilitate la viteze ridicate.
3. Algoritm de control dinamic de precizie: cu măsurare „in situ” a grosimii filmului, pentru a genera o „hartă” (map) a gravării și a optimiza traiectoria mesei, inclusiv pentru corecții localizate.

Unde ar urma să fie folosit: logică, memorii, ambalare avansată, siliciu fotonic, AR/VR

Conform descrierii, echipamentul este gândit pentru mai multe scenarii, cu efecte operaționale directe asupra procesului:

• Logică avansată și memorii: gravare direcțională care ar economisi straturi de fotomască și ar reduce costurile de proces; gravare cu selectivitate ridicată, reducerea rugozității pereților laterali, eliminarea defectelor de tip „bridging”, cu impact asupra randamentului și performanței și asupra producției de volum.
• Ambalare (încapsulare) avansată: activare de suprafață, îndepărtarea contaminanților și nivelare precisă, pentru îmbunătățirea calității de lipire (bonding) și a uniformității grosimii filmului, în sprijinul integrării 3D.
• Siliciu fotonic: planeitate a suprafeței la nivel atomic, reducerea pierderilor prin împrăștierea luminii și creșterea eficienței comunicațiilor optice.
• AR/VR: ajustarea flexibilă a unghiului de incidență al fasciculului ionic, pentru uniformitate ridicată la gravarea rețelelor (gratings) și gravare cu adâncime în gradient, cu efect asupra performanței optice.

Northern Huachuang mai susține că, în teste, echipamentul a avut performanțe „excelente”, cu control precis al grosimii filmului pe întreaga suprafață gravată și menținerea unei suprafețe „netede la nivel atomic”, iar performanța agregată ar fi la un nivel de vârf pentru echipamente similare. Materialul nu oferă însă valori numerice, clienți sau calendar de livrări, astfel că impactul comercial imediat nu poate fi cuantificat din informațiile disponibile.